1、几何精度：采用高精度水平仪配合地脚螺栓多重校准。

2、运动精度：导轨与横梁、滑台与导轨平行度均严控在≤0.03mm/m，杜绝定位偏差。

3、定位精度：重复定位≤±0.02mm，原点定位≤±0.01mm，需激光干涉仪标定丝杠预紧力与间隙。

终检：严格执行空载试运行，验证运行平稳性后方可进行负载调试。