一、FFU简介
FFU(Fan Filter Unit)是一种集风机与高效过滤器于一体的洁净室空气净化设备。通过顶部进风、底部高效过滤的方式,持续提供单向垂直层流洁净空气,广泛用于半导体、生物医药、精密制造等行业的洁净环境。核心组件包括风机、HEPA/ULPA过滤器、控制系统及箱体结构。
二、YHD FFU核心优势
优势点 |
说明 |
l 节能30%以上 |
具有 EC无刷电机 与 智能变频技术,根据洁净区负载动态调节功率,实测功耗比传统AC电机FFU降低30%以上,支持24*7连续运行。半导体工厂年省电费可达数万元。 |
l 噪音≤40dB |
优化风道设计 + 高分子减震材料,最低噪音可低至40dB以下(1m距离),符合100级(美国联邦标准209E)洁净室人工作业环境标准,避免噪音疲劳。 |
l 过滤效率高 |
H13级HEPA滤网 对0.3μm颗粒物拦截率≥99.995%,U15级ULPA滤网 对0.12μm颗粒物拦截率≥99.9995%,满足半导体光刻区(≤10纳米工艺)与生物安全实验室P3级要求。 |
l 模块化安装 |
标准尺寸兼容全球洁净室吊顶系统(575×575mm/1175×575mm),单台更换耗时≤15分钟,更有下拆式等便捷更换产品类型,产线维护零停机。 |
l 智能物联 |
可选配 IoT边缘计算模块,实时监测风量、压差、温湿度,通过云平台预警滤网寿命(精度±5%),最大可支持八千台级FFU集群调速。 |
l 负压控制强化 |
独特 风压自适应算法,洁净室正压稳定性提升40%,有效隔离外部污染物。 |
三、FFU与传统层流设备对比
特性 |
FFU | 传统层流系统 |
差异分析与场景适配 |
安装灵活性 |
模块化独立单元,支持 局部增减/移位,改造无需停线 |
固定管道系统,需破坏吊顶重建,工期≥2周 |
适合 多品种小批量生产(如医疗器械换产) |
能耗效率 |
EC电机+按需送风,闲置区域自动降速,综合节能40% |
中央风机全功率运行,低负载时能源浪费显著 |
年运行成本降低8万-12万/千平方米(实测数据) |
维护成本 |
前端快拆设计,滤网更换耗时≤10分钟/台,单价800-2000 |
需系统停机,更换HEPA组成本3万+,停工损失大 |
电子厂全年维护成本减少60% |
洁净均匀性 |
多机组 协同控压,截面风速差≤±10%,ISO5级达标率100% |
长距离送风末端压损大,洁净度波动±25% |
保障晶圆光刻胶涂布良品率(>99.98%) |
扩展能力 |
支持无缝拼接扩展,新增单元即插即用 |
需重新计算风管阻力,扩容成本高昂 |
适应产线柔性升级(如锂电车间扩产) |
四、产品典型应用场景
行业 |
应用案例 |
半导体制造 |
晶圆加工区、光刻车间洁净层流 |
生物实验室 |
PCR室、无菌操作台背景送风 |
医疗包装 |
药品分装线、医用耗材洁净工作台 |
数据中心 |
服务器机房冷通道封闭系统 |
五、选型计算
选型需综合洁净等级、空间尺寸、换气次数三大要素,步骤流程如下:
(1) 计算所需FFU数量(N)
公式:
参数说明:
l 换气次数:ISO 5级(百级)需≥300次/小时;ISO 7级(万级)需≥70次/小时。
l FFU送风量:标准575×575mm单元风量700-1200 m³/h(依风速调节)。
(2) 示例计算
案例:建造10m×8m(80m²)的ISO5级洁净室
换气次数要求:300次/小时
总风量需求:80 × 300 = 24,000 m³/h
选型:单台FFU(1175×575mm)风量2000 m³/h
数量:24,000 ÷ 2000 = 12台
(3) 选型关键参数
参数 |
说明 |
风速可调 |
0.45~1.0m/s可调范围,精密场景需恒定风速功能。 |
箱体材质 |
不锈钢(耐腐蚀) / 覆铝锌板(轻量化)/冷板烤漆。 |
控制方式 |
基础三档调速 / 智能PLC群控 / 尘埃粒子控制监测。 |
六、维护与注意事项
1. 滤网更换:HEPA寿命通常1~3年(视粉尘负载),压差升高15%时需检查。
2. 定期消杀:生物医药场景每季度紫外线灭菌,防止滤网生物滋生。
3. 避免阻塞:预过滤棉每月清洁,延长HEPA寿命。
4. 风机校准:每年检测风速均匀性,偏差>±10%需调整。
5. 警告:非专业人员禁止拆卸带电单元!滤网更换需在洁净环境下进行。